氮化镓HEMT器件辐射效应综述
作者:
作者单位:

1.a西安电子科技大学,机电工程学院,陕西 西安 710071;2.b西安电子科技大学,宽带隙半导体技术国家重点学科实验室,陕西 西安 710071

作者简介:

吕航航 (1997-),男,在读硕士研究生,主要研究方向为半导体器件可靠性 .email:ymshh@stu.xidian.edu.cn.
曹艳荣 副教授,硕士生导师,主要研究方向为 VLSI 器件可靠性研究、新材料器件及其可靠性研究、电子封装及其可靠性研究 .
马毛旦 (1999-),男,在读硕士研究生,主要研究方向为半导体器件可靠性 .
张龙涛 (1999-),男,在读硕士研究生,主要研究方向为半导体器件可靠性 .
任 晨 (1996-),男,在读硕士研究生,主要研究方向为半导体器件可靠性 .
王志恒 (1998-),男,在读硕士研究生,主要研究方向为半导体器件可靠性 .
吕 玲 (1984-),女,副教授,主要研究方向为宽禁带半导体器件工艺、宽禁带半导体材料表征及宽禁带半导体材料与器件辐照效应研究 .
郑雪峰 (1979-),男,教授,博士研究生导师,主要研究方向为宽禁带半导体材料与器件、半导体器件可靠性研究、半导体光电器件与探测器、新型半导体存储器件及芯片设计 .
马晓华 (1973-),男,教授,博士生导师,主要研究方向为半导体器件及其可靠性、宽禁带半导体材料、器件及固态微波集成电路设计 .

通讯作者:

曹艳荣 yrcao@mail.xidian.eud.cn

基金项目:

北京智芯微电子科技有限公司实验室开放基金项目;国家自然科学基金资助项目(11690042;U1866212;12035019;61727804; 11690040);

伦理声明:



Review of radiation effects on GaN HEMT devices
Author:
Ethical statement:

Affiliation:

1.aSchool of Electro-Mechanical Engineering;2.bState Key Subject Laboratory of Wide Band Gap Semiconductor Technology,Xidian University,Xi'an Shaanxi 710071,China

Funding:

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    摘要:

    在高频、大功率、高温、高压等领域,氮化镓高电子迁移率晶体管(HEMT)器件因其优异的耐辐射性能而被广泛地应用于卫星、太空探测、核反应堆等领域。尽管从理论和一些试验研究中可以得知,氮化镓材料具有良好的耐辐射特性,但在实际应用中,因其制作工艺及结构等因素的影响,氮化镓HEMT器件的耐辐射特性受到了很大的影响和挑战。本文介绍了氮化镓HEMT器件几种辐射效应,并对氮化镓HEMT器件辐射的研究进行了综述。

    Abstract:

    GaN High Electron Mobility Transistor(HEMT) devices have superior advantages in high-frequency, high-power, high-temperature and high-pressure applications, and due to the excellent radiation resistance characteristics of gallium nitride materials, the devices are useful in radiation environments such as satellites, space exploration, and nuclear reactors. Although the theory and some existing experimental results have shown that GaN materials have excellent radiation resistance properties, in actual situations, the radiation resistance properties of GaN HEMT devices are greatly affected and challenged due to the influence of the device manufacturing process and structure. The major radiation effects of GaN HEMT devices are discussed, and the radiation research of GaN HEMT devices is reviewed.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

吕航航,曹艳荣,马毛旦,张龙涛,任晨,王志恒,吕玲,郑雪峰,马晓华.氮化镓HEMT器件辐射效应综述[J].太赫兹科学与电子信息学报,2022,20(6):535~542

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  • 收稿日期:2022-01-07
  • 最后修改日期:2022-03-17
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  • 在线发布日期: 2022-07-11
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