1.北京新风航天装备有限公司,北京 100854;2.电子科技大学 电子科学与工程学院,四川 成都 611731
武颖杰(1998-),男,在读硕士研究生,主要研究方向为谐振式MEMS磁场传感器.emial: 18754296839@163.com.
吕秀梅(1982-),女,硕士,高级工程师,主要研究方向为航天器电气系统设计及开发.
张自强(1988-),男,硕士,高级工程师,主要研究方向为航天器电气系统设计及检测技术.
涂 程(1985-),男,博士,副研究员,主要研究方向为MEMS传感器和射频声学器件.
张晓升(1984-),男,博士,教授,主要研究方向为MEMS、微纳能源采集技术、多传感融合智能微系统等.
张晓升 (1984-),男,博士,教授,主要研究方向为MEMS、微纳能源采集技术、多传感融合智能微系统等. email: zhangxs@uestc.edu.cn
国家自然科学基金资助项目(62074029;61804023;61971108;62004029);四川省科技厅成果转移转化示范资助项目(2020ZHCG0038);四川省科技厅资助项目(2019YJ0198;2020YJ0015);中央高校基本科研业务费集成攻关资助项目(ZYGX2019Z002)
1.Beijing Xinfeng Aerospace Equipment Co.,Ltd. Beijing 100854,China;2.School of Electronic Science and;Engineering,University of Electronic Science and Technology of China,Chengdu Sichuan 611731,China
武颖杰,吕秀梅,张自强,涂程,张晓升.基于MEMS硅基谐振器的磁场传感器最新进展[J].太赫兹科学与电子信息学报,2023,21(11):1387~1396
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